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本发明公开了一种可提拉的直拉法单晶硅夹持机构及工作方法,主要包括电动推杆、单晶硅棒、电动滑块、夹持环机构、电动导轨、凸轴;炉壳上部设有套筒,所述凸轴设于所述电动导轨上部,所述电动推杆与所述凸轴通过螺纹连接;所述电动滑块一侧存在双层凹槽;所述夹持环机构分为夹持基座和夹持环,所述夹持基座侧部的旋块与双层凹槽嵌入配合;所述夹持环设有滚轮,两个夹持环通过插柱与凹槽配合对接。使用该装置时需将硅棒拉制出腰部,电动推杆推动凸轴,带动电动导轨从两侧向中心移动,使夹持环机构夹持住腰部,防止硅棒晃动,同时协助提拉线
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112725879 B
(45)授权公告日 2022.03.22
(21)申请号 202011523381.3
(22)申请日 2020.12.22
(65)同一申请的已公布的文献号
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