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本发明揭示一种集成光学件MEMS致动式光束操纵系统，其中所述光束操纵系统包含：透镜；及可编程垂直耦合器阵列，其具有交换网络及垂直耦合器阵列，其中所述交换网络可供能给所述垂直耦合器，使得其有效地将光发射到自由空间中。所述透镜准直从所述经供能垂直耦合器接收的所述光及沿着由所述经供能垂直耦合器在所述垂直耦合器阵列内的位置确定的传播方向导引输出光束。在一些实施例中，所述垂直耦合器经配置以校正所述透镜的像差。在一些实施例中，多于一个垂直耦合器可经供能以使能够操纵多个输出光束。在一些实施例中，所述交换网络是
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112740063 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 201980047925.2 (74)专利代理机构 深圳市沈合专利代理事务所
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