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本发明揭示一种用于分析样本的系统，其包含检验子系统及至少一个控制器。所述检验子系统经配置以扫描样本以收集具有第一图像分辨率的第一多个样本图像。所述控制器经配置以基于所述第一多个样本图像来生成缺陷列表。所述控制器经进一步配置以将对应于所述缺陷列表的图像输入到使用源数据来训练的神经网络中，所述源数据包含具有所述第一图像分辨率的样本图像及具有高于所述第一图像分辨率的第二图像分辨率的样本图像。所述控制器经进一步配置以由所述神经网络基于对应于所述缺陷列表的所述图像来生成第二多个样本图像，其中所述第二多个样
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112740021 B
(45)授权公告日 2022.07.01
(21)申请号 201980061902.7 (72)发明人 A ·潘迪 B ·里斯 H ·法加里亚
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