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本发明提供一种结构，包含使基板处理系统执行由多个步骤构成的工艺制程的控制部，在工艺制程的执行中，针对满足预先决定的收集条件的步骤，收集针对基板处理系统中的监视对象的部件的部件数据，生成表示收集到的部件数据的相关关系的相关曲线，将生成的相关曲线与预先存储的成为基准的初始相关曲线进行比较，判定相关曲线与初始相关曲线的差量是否超过预先决定的阈值，在超过了阈值的情况下，产生警报。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112740358 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 201880097796.3 (51)Int.Cl.
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