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本发明涉及一种防脱落装置及晶圆清洗设备,包括传送电机和从动轮,所述传送电机的下方连接有驱动轮,所述从动轮安装于第一皮带的上方,所述传送带的上方设置有限位槽,所述下卡板的一侧设置有上卡板,且上卡板的右侧设置有水箱,所述水箱的下方设置有清洗仓,本发明的有益效果是:该防脱落装置及晶圆清洗设备设置有下卡板、上卡板、弹簧和限位槽,使得具备了防脱落结构,并且设置有挡板、转轴、活动杆和液压缸,提高了其安全性,同时还设置有风扇,第二阶梯轮、第一阶梯轮和第二皮带,使其具备了风淋功能,还设置有均风网、卡块与凹槽,使
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112705511 A
(43)申请公布日 2021.04.27
(21)申请号 202011463152.7
(22)申请日 2020.12.11
(71)申请人 嘉兴瑾澎箱包有限公司
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