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2023-06-05 发布于四川
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一种光刻机的光刻板取料装置.pdf

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本发明公开了一种光刻机的光刻板取料装置，包括工作台，工作台底部设置有支座，支座顶部与工作台底部连接；支座两侧顶部均连接有垫台，两个垫台顶面均安装有第一滑轨，两个第一滑轨底部分别与两个垫台的顶面通过螺钉连接；第一滑轨上安装有取板装置，取板装置两侧底部分别与两个第一滑轨滑动连接；工作台远离光刻板存放处的一端设置有控制台，控制台背面与工作台通过连接线电性连接；操作人员将一定量光刻板放在桌体表面，整体夹持装置通过垫台滑轨移动，到光刻板存放点上方后，夹持架则会降下，伸缩杆收缩将光刻板夹紧，可运输至桌体表面

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112722817 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202011384582.X (22)申请日 2020.12.02 (71)申请人北京新毅东科技有限公司

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