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本发明揭示了一种旋转靶材的退绑修复方法,包括:已绑定的旋转靶材上包含若干退绑圆筒和若干非退绑圆筒,将旋转靶材竖直设置在旋转平台上,使退绑圆筒与背衬管加热至60~120℃,再使退绑圆筒与背衬管加热至170~200℃后铟就会融化,待铟完全融化并流出后,使用夹具将退绑圆筒从背衬管中取出即可完成退绑,将退绑圆筒进行金属化处理后,套设在背衬管上的原解绑位置,使退绑圆筒与背衬管加热至90~150℃,再使退绑圆筒与背衬管加热至180~230℃后,向退绑圆筒与背衬管之间的焊缝空间中注入铟液,待铟液填满焊缝空间后
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112725744 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 202011432887.3
(22)申请日 2020.12.10
(71)申请人 先导薄膜材料(广东)有限公司
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