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本发明涉及机械技术领域,公开了一种振梁结构及振梁加速度计敏感结构。其中,该振梁结构包括两个连接单元、两个锁能单元、两个驻波节点和两个叉指,两个所述叉指并联连接在两个所述驻波节点之间,每个锁能单元一端与一个所述驻波节点未连接两个所述叉指的一端连接,另一端与一个所述连接单元连接。由此,可以通过驻波节点与锁能单元配合实现双叉指振动能量的内聚,提高振梁Q值,提高加速度计快速启动特性。并且,锁能单元对对称性要求低,降低了振梁加工难度,提高了成品率,降低了加工成本。此外,振梁在总长度、厚度不变的情况下降低了
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112730892 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 202011438663.3
(22)申请日 2020.12.10
(71)申请人 北京自动化控制设备研究所
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