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基于磁控溅射技术的柔性基材连续镀膜机及其镀膜方法.pdfVIP

基于磁控溅射技术的柔性基材连续镀膜机及其镀膜方法.pdf

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    本发明特别涉及一种基于磁控溅射技术的柔性基材连续镀膜机。其包括镀膜机本体，还包括移动平台，驱动装置，及上装装置，上装装置包括固定组件，转动组件，及与固定组件活动连接的升降组件；还包括控制器，第一检测元件，位移传感器，控制器接收第一检测元件发送的检测信号后，发送控制移动平台停止运行的信号至驱动装置，控制器接收位移传感器的检测信号后，发送控制移动平台往复运行的信号至驱动装置。本发明还包括一种基于磁控溅射技术的柔性基材连续镀膜机的镀膜方法。本发明可实现一次性完成基材单面双相电极镀膜，即可实现基材的单面

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112708866 B (45)授权公告日 2023.03.28 (21)申请号 202011543481.2 C23C 14/04 (2006.01)

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