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本发明涉及一种具有过滤功能的芯片生产设备，包括工作台、驱动箱、传动轴和研磨盘，所述驱动箱设置在工作台的上方且与工作台固定连接，所述传动轴竖向设置在驱动箱和工作台之间，所述驱动箱内设有驱动装置，所述驱动装置与传动轴的顶端连接，所述研磨盘与传动轴同轴设置且安装在传动轴的底端，所述研磨盘与工作台之间设有间隙，所述工作台上设有辅助机构和过滤机构，所述过滤机构设置在工作台的底部，所述辅助机构包括固定管、转动环、水管和三个连接组件，该具有过滤功能的芯片生产设备通过辅助机构实现了防止水飞溅的功能，不仅如此，还
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112706070 A
(43)申请公布日 2021.04.27
(21)申请号 202011548514.2
(22)申请日 2020.12.24
(71)申请人 南京速淘技术研发有限公司
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