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本发明公开了一种利用双微球耦合模式分裂检测基板热均匀性的装置，所属光学器件技术领域，包括532nm激光脉冲光源、显微物镜、双微球耦合结构、MgF2基底、532nm滤光片、半透半反射镜、光谱分析仪、电荷耦合器件CCD、玻璃板、薄木板以及加热台。本发明中，基板的材料不均匀时，加热会引起基底上的位置点的温度不同，受热的两个微球折射率变化不同，光谱频移过程中的分裂峰反交叉现象灵敏；尺寸较小的两个微球耦合，可以在微尺度上对材料基板的位置点的均匀性进行实时检测；采用商业化的荧光染料微球组，尺寸均匀，发光效果
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112729776 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 202011447236.1
(22)申请日 2020.12.09
(71)申请人 哈尔滨工程大学
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