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2023-06-05 发布于四川
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本发明提供一种晶圆推片器治具及其推片方法，治具包括治具平台、晶圆匣和晶圆推送机构；所述晶圆推送机构包括推送组件和扫描检测组件，所述推送组件包括推送部，所述推送部对应所述晶圆匣的中部，所述扫描检测组件包括移动式检测杆件和检测传感器，所述推送部的推送面上还设有压力传感器，所述压力传感器电连接有控制器，所述检测传感器电连接所述控制器。先通过推送部推送单片晶圆，压力传感器测得单片晶圆推力值，再通过检测杆件和检测传感器测得晶圆匣中晶圆的数量，算出推动晶圆匣中所有晶圆的推力值。本发明根据晶圆匣中晶圆数量进行

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112713112 A (43)申请公布日 2021.04.27 (21)申请号 202011596196.7 (22)申请日 2020.12.29 (71)申请人苏州恩硕无尘科技有限公司

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