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一种阵列基板及其制备方法.pdfVIP

一种阵列基板及其制备方法.pdf

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    本申请公开一种阵列基板及其制备方法。所述阵列基板包括：薄膜晶体管层，所述薄膜晶体管层包括第一薄膜晶体管；红外探测元件，设置在所述薄膜晶体管层的第一侧，所述红外探测元件包括依次层叠设置在所述第一侧的第一电极、吸光层和第二电极，所述红外探测元件与所述第一薄膜晶体管电性连接；所述吸光层的材料为微晶硅。微晶硅的厚度和带隙能够同时满足红外探测的目的，所述吸光层的制备工艺可以被集成到所述显示面板的生产线中，有利于大规模工业生产和应用。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112713161 A (43)申请公布日 2021.04.27 (21)申请号 202011603545.3 (22)申请日 2020.12.30 (71)申请人 武汉华星光电技术有限公司

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