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2023-06-05 发布于四川
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取晶用晶元蓝膜张紧机构.pdf

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本发明提供了一种取晶用晶元蓝膜张紧机构，包括机架和支撑环，所述机架包括沿水平方向设置的安装板，所述安装板中开设有安装孔，所述支撑环转动安装在所述安装孔中，所述支撑环的转动轴心沿竖直方向设置，所述支撑环中设有用于放置晶元蓝膜的扩晶环，所述支撑环的上方设有半分环，所述半分环的数量为二个，二个所述半分环通过竖直调节机构安装在所述支撑环上，通过设置扩晶环和半分环，将晶元蓝膜放置在扩晶环上，竖直调节机构驱动半分环下移并下压晶元蓝膜，使得晶元蓝膜的中部张紧在扩晶环上，进而能够避免晶元蓝膜过于松弛影响取晶精度

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112713116 B (45)授权公告日 2021.12.21 (21)申请号 202011606211.1 (56)对比文件 (22)申请日 2020.12.30

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