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高纯氮化镓粉材料的制备.pdfVIP

高纯氮化镓粉材料的制备.pdf

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    本发明提供高纯氮化镓粉材料的制备，涉及氮化镓领域。该高纯氮化镓粉材料的制备，包括石英容器清洗、高纯镓原料处理、高纯氮化镓的制备和高纯氮化镓的过筛步骤，通过获取高纯氧化镓材料，通入高纯氨气且控制好高纯氨气流量的方式,找到合适的技术条件，获得高纯氮化镓,并设计了反应装置。传统方式是通过大量的化学材料沉淀等方法获得氮化镓，但方式工艺复杂，纯度很难达到保证。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112694073 A (43)申请公布日 2021.04.23 (21)申请号 202110009167.4 (22)申请日 2021.01.05 (71)申请人 段文轩 地址 620

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