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2023-06-05 发布于四川
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本公开提供一种测定用探测器以及形状测定装置，测定用探测器通过扫描测定物的表面来对测定物表面的三维形状等进行测定，具备：第1可动部，具有触针；第2可动部，能够在Z方向上移动地与第1可动部连结；第3可动部，能够在Z方向上移动地与第2可动部连结；第1位置测定部，测定第1可动部在Z方向上的第1位置；第2位置测定部，测定第2可动部在Z方向上的第2位置；第3位置测定部，测定第3可动部在Z方向上的第3位置，第1相对位置基于第1位置和第2位置来计算，第2相对位置基于第1位置和第3位置来计算，第2可动部相对于第1

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112729066 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202011167886.0 (22)申请日 2020.10.27 (30)优先权数据

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