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本发明为一种晶圆加工的气流平稳系统，包括机体，所述机体包括控制面板、支柱、气流管道以及泄压泵，所述进气口上设有导风阀，所述气流管道的内部设有导风扇以及气流检测模块，所述导风扇上设有导风电机，所述控制面板包括控制主板，所述控制主板包括处理模块、智能分析模块、储存模块以及数据传输模块，通过导风扇进行引导气流，使气流进行稳定的进入气流管道，以及调整气流进入的速度，通过导风阀方便工作人员控制气流量，通过气流检测模块进行检测气流管道中气流量和稳定性，方便工作人员根据实时数据进行调整，通过智能分析模块使设备
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112713108 A
(43)申请公布日 2021.04.27
(21)申请号 202011506948.6
(22)申请日 2020.12.18
(71)申请人 钟兴进
地址 中国台
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