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本发明实施例提供的一种半导体功率器件终端结构,包括:n型外延层以及位于所述n型外延层中的:至少一个沟槽,所述沟槽包括至少两个在纵向上堆叠的子沟槽,且在从所述n型外延层表面到所述n型外延层内部的方向上,所述子沟槽在横向上的宽度逐渐减小;位于所述沟槽中的栅极,所述栅极和所述n型外延层之间由绝缘介质层隔离;与所述沟槽相邻的第一p型掺杂区。本发明实施例提高了半导体功率器件的耐压能力和稳定性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112736123 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 201911031014.9
(22)申请日 2019.10.28
(71)申请人 苏州东微半导体股份有限公司
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