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一种用于太赫兹频段的H面波导探针过渡结构.pdfVIP

一种用于太赫兹频段的H面波导探针过渡结构.pdf

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    本发明公开了一种用于太赫兹频段的H面波导探针过渡结构，属于太赫兹器件技术领域，具体包括介质基板，和设置在介质基板上的一体成型的探针分叉结构及一对分别与探针分叉结构的两个分叉端相连的平行探针，平行探针的探针长宽比大于10，探针分叉结构的开口角度为90～180°；H面波导探针过渡结构位于太赫兹矩形波导内的矩形腔中，与太赫兹矩形波导垂直，探针分叉结构的主干端连接微带电路，使得从微带电路输入的太赫兹信号耦合至太赫兹矩形波导，具有优异的回波损耗特性，拥有更宽的频带，可应用于基于硅微加工技术的太赫兹电路封装

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112736394 B (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202011525449.1 (56)对比文件

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