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一种原位高能Ar+刻蚀后处理改善AlCrN涂层刀具性能的方法.pdfVIP

一种原位高能Ar+刻蚀后处理改善AlCrN涂层刀具性能的方法.pdf

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    本发明公开一种原位高能Ar+刻蚀后处理改善AlCrN涂层刀具性能的方法，包括步骤：清洗基材；制备AlCrN功能涂层；将所述AlCrN功能涂层沉积在处理后的所述基材上；原位高能Ar+轰击后处理；对制备好的AlCrN功能涂层进行原位高能Ar+轰击后处理：沉积镀膜结束后，对所述基材进行抽真空，加工温度保持在400℃并通入Ar气；开启清洗Ti靶后开启阳极靶材，所述阳极靶材与所述清洗Ti靶构成正负极牵引电子运动，电子与Ar气碰撞产生Ar+，控制负偏压为‑200V，吸引Ar+对设置有所述AlCrN功能涂层的

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112708852 B (45)授权公告日 2022.12.16 (21)申请号 202011534781.4 C23C 14/58 (2006.01) (22)申请日 2020.12

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