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2023-06-05 发布于四川
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一种单晶硅片制绒剂及制绒方法.pdf

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本发明提供了一种单晶硅片制绒剂，单晶硅片制绒剂包括碱液，碱液中分布有带有动能的微米颗粒，微米颗粒为含氟高分子、抗碱腐蚀有机高分子、无机非金属、金属材料中的至少一种。还提供了一种单晶硅片制绒方法，包括单晶硅片制绒剂的配置，即碱液的配置、微米颗粒加入制备混合溶液、混合溶液中微米颗粒动能的获取等步骤)，和将单晶硅片置入单晶硅片制绒剂中在第三温度及t时间内进行制绒。本发明提供的单晶硅片制绒剂及制绒方法能够影响氢气气泡的大小、密度，及在单晶硅片表面的粘附时间等参数，会直接影响制备的绒面形貌、大小以及均匀性

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112708938 B (45)授权公告日 2022.03.22 (21)申请号 202011543031.3 H01L 31/18 (2006.01) (22)申请日

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