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本发明涉及以多液体处理晶圆表面的方法,其包含:将该晶圆的该表面旋转、以及依序列从分开的出口释放不同液体流到该旋转的表面上,其中在该序列中毗连的该等液体流的该释放在过渡阶段期间重迭,且其中在该过渡阶段期间,该液体流在离开该等出口之后合并,以在冲击该旋转的表面之前形成合并的液体流。本发明亦提供结合固持二或更多液体输送管的壳架的液体配给装置,其中该等管的出口朝向彼此而向内弯曲,使得在使用中的输送自该二或更多液体输送管的该等出口的该等液体流合并以形成合并的液体流。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112740385 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 201980054280.5 沃尔特 ·埃斯特尔
(22)申请日 2019.
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