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无机电致变色材料及制造方法利用反应性PDC磁控管,其中电致变色材料的共溅射合成如下进行:(1)直接从碳化物靶材;(2)从相关的过渡金属和石墨靶材,以及诸如Si、Ge、P、B等非金属元素;(3)直接从复合靶材(过渡金属、非金属元素和石墨粉的细粉混合物)。溅射可以立即从1到4种靶材进行。对于共溅射,可以使用以下气体混合物的组合:Ar/O2/N2、Ar/H2/N2/O2、Ar/NH3/O2、Ar/CO/N2/O2、Ar/CO/H2/N2/O2、Ar/CH4/N2/O2和Ar/NH3/CO/N2/O2。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112739654 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 201980060935.X 安东 ·米哈伊洛维奇 ·马纳霍夫
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