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一种用于在具有相对的第一表面及第二表面的基板中形成穿孔的方法，其可包括将激光脉冲的一聚焦光束导引至该基板中穿过该基板的该第一表面且随后穿过该基板的该第二表面。激光脉冲的该聚焦光束可具有一波长，该基板对于该波长至少实质上是透明的，且激光脉冲的该聚焦光束的光束腰部相比于该第一表面更接近于该第二表面。激光脉冲的该聚焦光束的特征在于脉冲重复率、在该基板处的峰值光学强度及在该基板处的平均功率，其足以：熔融该基板中靠近该第二表面的区域，由此在该基板内产生熔融区；向该第一表面传播该熔融区；且蒸发或沸腾该基板的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112714681 A
(43)申请公布日 2021.04.27
(21)申请号 201980060712.3 (74)专利代理机构 北京寰华知识产权代理有限
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