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本发明公开了一种柔性砷化镓太阳能电池芯片及其制作方法,柔性砷化镓太阳能电池芯片包括:外延层;依次层叠设置于所述外延层下表面的第一电极、铜衬底及碳纳米管薄膜;覆盖于所述外延层上表面的减反射膜与接触层;第二电极,设置于所述接触层上表面。通过在铜衬底表面制备了一层碳纳米管薄膜,利用碳纳米管薄膜的材料特性,既保证了铜衬底的导电性,同时提升了铜的抗氧化能力,并对柔性芯片翘曲度有一定改善。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112713201 B
(45)授权公告日 2021.08.27
(21)申请号 202011604325.2 H01L 31/054 (2014.01)
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