碳罐电磁阀气体流量调整系统及方法.pdfVIP

碳罐电磁阀气体流量调整系统及方法.pdf

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本发明公开了一种碳罐电磁阀气体流量调整系统,其包括储气罐、精密减压阀、流量计及电流表;碳罐电磁阀的进气端通过进气管路接储气罐,出气端通过出气管路接空气;进气管路的压强>出气管路的压强≥大气压;精密减压阀接在进气管路上,用于调整碳罐电磁阀进气端的压强;流量计包括层流管及层流压差传感器;层流管接在碳罐电磁阀的出气管路上;层流压差传感器用于检测层流管两端压差,并输出反映层流管两端压差的模拟量电流;电流表用于检测该模拟量电流并输出电流测试值。本发明还公开了一种碳罐电磁阀气体流量调整方法。本发明,能在短周

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112727640 B (45)授权公告日 2022.04.08 (21)申请号 202011538009.X (56)对比文件 (22)申请日 2020.12.23

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