- 1、本文档共23页,其中可免费阅读22页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本公开是关于一种刻蚀孔倾斜角度预测方法、刻蚀设备监控方法、刻蚀孔倾斜角度预测装置、计算机可读存储介质及电子设备。该蚀孔倾斜角度预测方法包括:确定刻蚀设备在不同运行阶段的监测样品表面待刻蚀物的刻蚀速率的预设变化范围;获取刻蚀设备在当前运行阶段的监测样品表面待刻蚀物的刻蚀速率变化曲线;在刻蚀速率变化曲线超出预设变化范围时,确定刻蚀设备当前所刻蚀的刻蚀产品的刻蚀孔的倾斜角度超过预设角度。本公开实施简单成本低,且可达到实时预测当前刻蚀产品的刻蚀孔倾斜角度的目的。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112713113 B
(45)授权公告日 2022.05.24
(21)申请号 202110048239.6 G06T 7/00 (2017.01)
您可能关注的文档
- 一种汽车用滚珠丝杆副钢球组装装置.pdf
- 一种污水处理设备用污水处理罐.pdf
- 一种基于局部视野的多智能体编队规划方法.pdf
- 数据加密方法、系统及电子设备和存储介质.pdf
- 一种人脸识别智能边缘计算服务器装置.pdf
- 盘式励磁磁力制热系统及其制热方法.pdf
- 一种垂直结构氮化镓HEMT器件的制备方法.pdf
- 一种电机浇口料切除设备.pdf
- 一种孔底动力钻进双层隔离套管跟管系统及工艺.pdf
- 边缘服务器和控制柜.pdf
- 2024至2030年中国羚羊角类饮片行业深度调查与前景预测分析报告.docx
- 重庆市面向中国农业大学定向选调2024届大学毕业生2024年国家公务员考试考试大纲历年真题14笔试历.docx
- 重庆市面向西北工业大学定向选调2024届大学毕业生00笔试历年典型考题及解题思路附答案详解.docx
- 中国不动杆菌感染治疗药行业市场现状分析及竞争格局与投资发展研究报告2024-2029版.docx
- 2024至2030年全球与中国ETL软件市场现状及未来发展趋势.docx
- 初中八年级(初二)生物下册期末考试1含答案解析.docx
- 干簧式继电器项目申请报告.docx
- 2024至2030年中国左氧氟沙星片行业深度调查与前景预测分析报告.docx
- 菜籽项目申请报告.docx
- 2024至2030年中国八角钢行业深度调查与前景预测分析报告.docx
文档评论(0)