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测量分子泵内表面温度的方法.pdfVIP

测量分子泵内表面温度的方法.pdf

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    本发明公开了一种测量分子泵内表面温度的方法，方法包括：（ⅰ）延长测温元件的引线；（ⅱ）确定测温元件温度标定系数；（ⅲ）设置测温元件安装槽及引线穿出槽；（ⅳ）测温元件的装配；（ⅴ）压力表的装配；（ⅵ）温度和压力的测量和（ⅶ）关系图绘制。本发明可以测量分子泵内表面温度变化情况、掌握分子泵抽空腔体内部尺寸不同、压力等不同时，分子泵内表面温度变化情况，为分子泵优化、设计提供依据。本发明可以用于不同型号分子泵内表面温度分布测量。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112710406 B (45)授权公告日 2022.07.08 (21)申请号 202110069535.4 G01K 15/00 (2006.01) (22)申请日 2021.01

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