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本发明涉及一种减震光刻机及其减震方法,所述减震光刻机包括被动隔振装置、设于所述被动隔振装置上的飞轮减震装置、设于所述飞轮减震装置上的光刻机以及与所述被动隔振装置和所述飞轮减震装置电连接的控制系统,所述飞轮减震装置包括支撑所述光刻机且与所述被动隔振装置连接的第一平台、与所述第一平台远离所述光刻机一侧相连的至少三个第一飞轮以及与所述第一飞轮输出端电连接的双向逆变器,三个第一飞轮的中心轴均不平行,双向逆变器与所述光刻机的输入端电连接,所述控制系统包括若干传感器以及与所述传感器和第一飞轮电连接的控制器。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112709778 B
(45)授权公告日 2022.06.17
(21)申请号 202011404941.3 (51)Int.Cl.
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