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本发明涉及一种计数式变栅距光栅位移传感器,包括准直光学系统和Y型光纤,准直光学系统设置在传感器内,Y型光纤穿入传感器与准直光学系统一侧相对,传感器外壳内设置有导轨,滑块通过连接轴滑动设置在导轨上,滑动内侧设置有与准直光学系统另一侧相对的反射镜,传感器内部底端设置有与反射镜相对的变栅距光栅。本发明的有益效果是:提供一种计数式变栅距光栅位移传感器,本申请提高了传感器整体精度,降低了对导轨加工精度的要求,增加装置的适用性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112710240 A
(43)申请公布日 2021.04.27
(21)申请号 202011407808.3
(22)申请日 2020.12.04
(71)申请人 北京信息科技大学
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