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本发明公开了一种基于金属基底的高温氮化铝压电传感器的制作方法，在金属基底上淀积一层底层粘接层，以电子束蒸发在底层粘接层上淀积一层绝缘层，以原子层堆积或等离子增强物理气相沉积再淀积一层绝缘层，通过电子束蒸发再淀积一层绝缘层；在绝缘层上淀积一层粘接层及一层下金电极层；通过光刻，等离子辅助物理气相沉积的直流反应溅射及剥离，在下金电极层上淀积一层氮化铝层；在氮化铝上淀积一层上粘接层及一层上金电极层；通过光刻，等离子辅助物理气相沉积的直流反应溅射及剥离，在上金电极层上淀积一层氮氧化铝保护层。本发明工艺温度
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112713235 A
(43)申请公布日 2021.04.27
(21)申请号 202110152687.0
(22)申请日 2021.02.04
(71)申请人 曹建峰
地址 234
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