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一种可分栏硅片的摆动机构.pdfVIP

一种可分栏硅片的摆动机构.pdf

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    本发明涉及一种可分栏硅片的摆动机构，设置在硅片片篮上游，包括注水基板，喷水盖板和摆动装置，注水基板倾斜设置，注水基板上设有水槽，注水基板上设有贯穿的注水管，注水管与水槽连通，喷水盖板覆盖设置在注水基板上，喷水盖板上设有贯通的出水管，多个出水管位置与水槽匹配；摆动装置设置在喷水盖板外侧，摆动装置包括横梁，摆动气缸和摆杆，摆杆设置在横梁下侧，摆动气缸设置在横梁上表面，摆动气缸连接摆杆，摆杆贴紧喷水盖板。本发明的有益效果是：通过摆杆的摆动实现变向的两侧上片，能够实现连续上片，减少了取走装满硅片的片篮时

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112735970 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 20191

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