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一种微纳米级台阶高度样板及其制备方法.pdfVIP

一种微纳米级台阶高度样板及其制备方法.pdf

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    本申请提供一种微纳米级台阶高度样板及其制备方法，该微纳米级台阶高度样板包括基座、台阶结构和防护层；台阶结构设置于基座上；防护层包覆基座和台阶结构，本申请还提供该微纳米级台阶高度样板的制备方法：包括以下步骤：对待加工材料粗切割，形成待处理样板，待处理样板包括基座和台阶结构；对待处理样板进行热处理；对经过热处理的待处理样板进行高精度磨床加工；对经过高精度磨床加工后的待处理样板进行表面黑色磷化处理，得到该微纳米级台阶高度样板；其中，微纳米级台阶高度样板的表面包括防护层。如此，本申请提供的微纳米级台阶高

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112723297 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 20191

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