单晶炉的石墨坩埚及其制造方法、坩埚组件和单晶炉.pdfVIP

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2023-06-05 发布于四川
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单晶炉的石墨坩埚及其制造方法、坩埚组件和单晶炉.pdf

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本发明公开了一种单晶炉的石墨坩埚及其制造方法、坩埚组件和单晶炉，石墨坩埚包括本体，本体为石墨件且限定出盛放腔，盛放腔的壁面上具有开凿部，开凿部处形成有凹槽，凹槽沿本体的周向延伸以形成为环形结构，其中，对坩埚半成品、与坩埚半成品适配的石英坩埚以及盛装于石英坩埚内的熔汤进行热场模拟，得到熔汤的高温区的等温线，在本体的纵截面上，凹槽的形状适于与等温线的部分的形状相一致，坩埚半成品构造成在坩埚半成品的内壁面上加工出凹槽以形成本体，高温区的温度高于熔汤的其余任一区域的温度。根据本发明的单晶炉的石墨坩埚，可

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112708932 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202011519963.4 C30B 15/20 (2006.01) (22)申请日 2020.12

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