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本发明公开了一种基于石墨烯的二维异质结的机械转移制备方法。该制备方法中,在单晶六方氮化硼衬底上通过机械转移工艺制备和表征了高质量的剥离单层和双层石墨烯器件。该方法制备的基于六方氮化硼的石墨烯器件,与二氧化硅负载的石墨烯器件相比,具有更强的迁移率,降低载流子的不均匀性和降低固有掺杂。以可控方式组装结晶层状材料为石墨烯电子学的进展奠定了基础,并使制备更加复杂的石墨烯异质结构得以实现。本发明方法,制备的石墨烯器件结构稳固、结合紧密、性能优越,可用于高质量石墨烯器件制备。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112768345 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202110030792.7
(22)申请日 2021.01.11
(71)申请人 山东理工大学
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