一种基于微流道的可调式电感及其制造方法.pdfVIP

一种基于微流道的可调式电感及其制造方法.pdf

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本发明公开一种基于微流道的可调式电感，包括通过管道相连通的泵、热交换器以及设置于基板上的微流道。微流道包括相互连通的多个翅片，翅片内部填充有液态金属形成电感，具有选通功能的第一芯片通过第一重布线层电连接至翅片。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112750600 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202011591261.7 H01L 23/473 (2006.01) (22)申请日 2020.1

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