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本发明涉及阀以及气体控制装置,该阀具备:第一板,具有第一通气孔;第二板,具有第二通气孔;阀室,位于第一板与第二板之间;阀体,具备第三通气孔;排气路形成板,与阀体之间形成第一流路,与第二板之间形成第二流路,具备连通第一流路和第二流路的第四通气孔;以及第五通气孔,第一流路连通第二通气孔和第四通气孔,第二流路连通第四通气孔和第五通气孔,阀体当与第四通气孔的周缘接触时使第一流路和第二流路成为非连通状态,当与第四通气孔的周缘分离时使第一流路和第二流路成为连通状态,第二流路的最小截面积或者第五通气孔的截面积
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112771295 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 201980063178.1 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限
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