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本发明涉及芯片加工技术领域,且公开了一种新型的芯片加工用晶圆固定夹具,包括安装座和固定吸盘,所述安装座顶部固定连接有固定吸盘,固定吸盘底部固定连接有抽吸管道,安装座内部开设有抽吸腔,抽吸腔内壁活动连接有推移板,推移板外侧固定连接有磁铁块,磁铁块外侧固定连接有复位弹簧,安装座内部固定连接有第一电磁铁,安装座外侧固定连接有固定侧板。该新型的芯片加工用晶圆固定夹具,弹性包覆层受到晶圆挤压后变形,将电流变液推压至填充腔内,将电介质推板向下推移,正极板和负极板的接通,从而控制外加电场的通电,使得电流变液从
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112782937 A
(43)申请公布日 2021.05.11
(21)申请号 202011622694.4
(22)申请日 2020.12.30
(71)申请人 赵云
地址 1240
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