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2023-06-06 发布于四川
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一种背向集成激光器件及其制造方法.pdf

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本发明涉及一种背向集成激光器件，包括基底、基底内设的波导结构、有源激光器件，有源激光器件通过半导体材料层与基底键合，有源激光器件上部设有第一金属电极，基底内设有第二金属电极结构，第二金属电极结构位于波导结构两侧且与波导结构不接触；第二金属电极结构上方全部或部分覆盖有有源层。本发明还涉及上述激光器件的制造方法，包括，对SOI晶圆进行前段工艺，形成耦合波导，在激光器耦合波导两侧沉积互联金属；将SOI晶圆与载体晶圆键合；去除SOI晶圆上衬底，将BOX层减薄至目标值；制作金属层电极；与外延片键合；对外延

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112769034 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202011640268.3 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人联合微电子中心有限责任公司

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