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本发明提供一种CdTe太阳电池的制作工艺,其特征在于:提供一个带有底电极的衬底层,在底电极上沉积缓冲层、光吸收层;光吸收层活化退火处理;采用第一激光器刻断底电极、缓冲层和光吸收层;采用光刻胶微喷头阵列在第一激光器刻线处喷涂光刻胶,经过衬底方向紫外光曝光显影,填充刻线;清洗未曝光光刻胶,采用第二激光器在每个紧邻第一激光器刻线处旁刻断缓冲层和光吸收层;在整个膜面沉积背电极;采用第三激光器在每个紧邻第二激光器刻线处旁刻断缓冲层、光吸收层和背电极,得到多个电池单元串联的CdTe太阳电池。本发明通过微喷头
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112768556 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202011645591.X
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 中国建材国际工程集团有限公司
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