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本发明静电防护与电子制程设备技术领域，提供一种具备静电消除功能的空气过滤装置，包括沿气流方向依次设置的风源、过滤单元和电集尘除静电系统，其中，风源用于提供空气流动的动力；过滤单元用于对空气中异物实现物理拦截；电集尘除静电系统用于对经过过滤单元的空气进行进一步的电晕集尘以及静电消除；所述电集尘除静电系统设置在过滤单元的气流方向的下游。本发明将由单纯滤材的物理拦截改进为滤材物理拦截+电集尘除静电技术相结合，提高了除尘效率、效果的同时还实现了静电的去除。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112756111 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202011474367.9
(22)申请日 2020.12.14
(71)申请人 苏州天华超净科技股份有限公司
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