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本发明提供了一种校准装置，包括导向部、驱动部和支撑部。所述校准装置中，所述导向部使所述两个基板的中心和特征标记结构分别实现对准，所述驱动部中的旋转驱动部和运动转换部通过将旋转运动转化为直线运动来驱动所述置物部朝向或远离所述相对置物部运动，从而实现了对准。本发明还提供了包含所述校准装置的对准系统及其对准方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112768393 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202110140423.3
(22)申请日 2021.02.02
(71)申请人 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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