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超结器件及其制造方法.pdfVIP

超结器件及其制造方法.pdf

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    本发明公开了一种超结器件，超结结构形成于第一N型外延层表面上方，超结单元的顶部位置上的P型柱的宽度小于N型柱的宽度且步进不变；N型柱由填充于沟槽中的第二N型外延层组成，P型柱由沟槽之间的第一P型外延层组成，第一P型外延层形成于第一N型外延层上；沟槽穿过第一P型外延层且底部和第一N型外延层接触；超结单元中P型柱的P型杂质总量和N型柱的N型杂质总量相匹配，P型柱的掺杂浓度高于N型柱的掺杂浓度。本发明还公开了一种超结器件的制造方法。本发明能降低工艺控制难度，同时还能提高器件的一致性；沟槽倾斜时，还能降

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112768522 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 20191

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