一种板级三维芯片封装结构及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-06 发布于四川
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一种板级三维芯片封装结构及其制备方法.pdf

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本发明公开一种板级三维芯片封装结构的制备方法，包括：制备芯片封装用基底，并使其具有外露的第一重布线层；提供若干第一芯片组，倒装于第一重布线层上并进行塑封，形成第一塑封层；对第一塑封层开孔，形成位于每相邻两个第一芯片组之间的锥形槽以及位于其中一个第一芯片组远离另一个第一芯片组一侧的若干过孔，并使锥形槽和过孔分别延伸至第一重布线层；在第一塑封层表面、锥形槽的槽壁以及过孔的孔壁制作第二重布线层；提供若干第二芯片组，倒装于第二重布线层上并进行塑封，形成第二塑封层；制作电连接结构，将第一芯片组和第二芯片组

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112768364 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202110126244.4 H01L 21/56 (2006.01)

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