一种氧化铈超亲水光学薄膜的制备方法.pdfVIP

一种氧化铈超亲水光学薄膜的制备方法.pdf

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本发明公开了一种磁控溅射法生长、氧烧除碳法处理后得到氧化铈超亲水光学薄膜的方法，该薄膜膜层镀于光学镜片基底表面时，不影响原镜片的光学性能。可应用于要求超亲水性的光学元器件表面，如防雾、防霉光学透射镜、反射镜等，为具有自清洁功能的光学元器件的研制和后期保养提供了重要的科学依据。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112759277 B (45)授权公告日 2022.03.08 (21)申请号 202011392891.1 (56)对比文件

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