一种小型研磨搅拌桶及提高小型研磨搅拌桶使用效率的方法.pdfVIP

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2023-06-06 发布于四川
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一种小型研磨搅拌桶及提高小型研磨搅拌桶使用效率的方法.pdf

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本发明公开了一种小型研磨搅拌桶，包括研磨捅，所述研磨捅顶部设置有供液槽，所述供液槽的液体出口连接至研磨捅内；所述研磨捅内还设置有进水管路；所述研磨捅内还设置有搅拌桨，所述搅拌桨的搅拌叶尺寸半径长为研磨捅内半径的0.5‑0.8倍；所述搅拌桨通过可调节搅拌速度的减速电机带动旋转；工作原理是通过加大研磨桶内的搅拌桨，使之作用范围更大，同时使用减速电机降低搅拌桨搅拌速度避免研磨液飞溅，保持研磨液不沉淀；可以提高研磨桶搅拌效率，避免研磨液不均匀带来的机械伤不良。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112742249 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202110008161.5 (22)申请日 2021.01.05 (71)申请人上海中欣晶圆半导体科技有限公司

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