一种阳极结构、电极机构及电镀系统.pdfVIP

一种阳极结构、电极机构及电镀系统.pdf

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本发明涉及电镀技术领域,具体提供了一种阳极结构、电极机构及电镀系统,其中阳极结构包括主阳极件和至少一个辅阳极件,分别与外部电源的正极电性连接,主阳极件较辅阳极件适于靠近待电镀的阴极件,任一辅阳极件的有效作用面小于主阳极件的有效作用面,且辅阳极件的有效作用面在阴极件的阴极面上的投影落入阴极面的四周边缘之内。通过在主阳极件的一侧设置至少一个辅阳极件,通电后的辅阳极件产生的电流能够落入到阴极件的阴极面的四周边缘之内,对位于阴极面四周边缘之内的电流进行补充增加,使得阴极件受到的电流能够在阴极面上均匀分布

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112779591 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 202110122870.6 (22)申请日 2021.01.29 (71)申请人 昆山东威科技股份有限公司

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