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本申请实施例提供了一种半导体清洗设备及其机械臂。该机械臂包括:可移动箱体,该箱体包括在其移动方向上相对设置的第一侧壁和第二侧壁,以及与第一侧壁和第二侧壁相邻的第三侧壁,第一侧壁和第二侧壁可在外力作用下发生形变,第三侧壁上开设有缺口;位于箱体内的基板组件,其与第一侧壁和第二侧壁活动连接,且贴近缺口设置,基板组件能在第一侧壁和/或第二侧壁发生形变时相对于箱体移动,基板组件的内侧面用于安装机械手臂组件,基板组件的外侧面用于封闭缺口;设置于第三侧壁的外侧面及基板组件的外侧面上的检测组件,用于在检测到相对
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112775984 A
(43)申请公布日 2021.05.11
(21)申请号 202011559407.X H01L 21/677 (2006.01)
(22)申请日
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