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本发明涉及一种横向双扩散金属氧化物半导体器件包括:漂移区,具有第一导电类型;第一体区,设于所述漂移区上,具有第二导电类型;所述第一导电类型和第二导电类型为相反的导电类型;第一导电类型区,设于所述第一体区内;第二体区,设于所述第一导电类型区内,具有第二导电类型;源极区,设于所述第二体区内,具有第一导电类型;接触区,设于所述第一体区内,具有第二导电类型。本发明解决了LDMOS的体二极管在反向恢复期间,因寄生NPN开启导致的反向恢复失效问题,并且不需要设置沟槽隔离结构。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112768521 B
(45)授权公告日 2022.08.12
(21)申请号 201911001601.3 (51)Int.Cl.
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