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一种新型连续打拿极的制作方法.pdfVIP

一种新型连续打拿极的制作方法.pdf

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    本发明公开了一种新型连续打拿极的制作方法，属于电学器件领域，目前的连续大拿极的本底信号比较高，离子反馈比较高，本发明通过设计弯曲的通道结构用双光子光刻和热诱导收缩3D打印，再通过原子层沉积技术在通道壁上制备电导层和发射层，最后通过高真空电阻蒸发镀膜在通道口处制备电极薄膜。新型连续打拿极可以任意设计通道口径大小，弯曲的形状，集成度；可以更换不同的电导层材料，可以任意的调整电导层电导的大小；可以更换更高更稳定的的二次发射系数的材料作为发射层。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112768327 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 20191

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